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睿米®He标准漏孔10-7mbar.L/s(10-8Pa.m³/s)

微通道工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减

产品介绍

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全气体支持: 包括但不限于He, H2, 5%H2/95%N2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, 各种卤素/冷媒, 混合气体...)。 全量程、全压力支持:8 ~ 10-12 mbar.L/sec, 0-40Mpa;并支持同时指定压力和漏率精确定制。

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微通道工艺|抗震抗摔|超高压力|极低衰减

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