睿米®标准漏孔测试系列:E-12pa.m3/sec通道型标准漏孔


全球第一个E-12pa.m3/sec通道型标准漏孔这个是接您理论极限的产品漏孔漏率标定值5.8x10-12pa.m3/sec(5.8x10-11mbar.l/sec), 相当于3170年均匀泄漏总量为5.8ml氦气。

因为漏率逼近检漏仪的理论极限,检漏仪背景值为~1.5x10-12pa.m3/sec,采用清零法测试,去除背景噪音的干扰。带待检漏仪本底背景值长时间稳定后,打开阀门,第一次逼近~5.5x10-12pa.m3/sec,关闭阀门,观察接近清零后的极值(1-2x10-13pa.m3/sec);然后第二次打开阀门,逼近~5.7xpa.m3/sec,关闭阀门后再观察再次接近清零后的极值(1-2x10-13pa.m3/sec)。说明两次测试的一致性和重复性很好。

-12-13pa标准漏孔,目前仅少数几家能够制作,但都采用的是落后的渗透膜工艺,漏率的重复性差,而且漏率受温度变化影响漏率变化极大,漏率不稳定,而且容易损坏这对标准漏孔作为计量器的属性是致命的。

睿米®采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术以及RMI-Metal™全金属密封工艺,全球第一个(也是目前唯一)制作出微通道型超高精度标准漏孔(-11-12-13pa.m3/sec)。这是是标准漏孔制作的革命性的创新。

睿米®通道型漏孔的重复性好、稳定性、精度高,而且漏率几乎不受温度变化的影响(温度系数0.1%/℃,也就是说温度变化一度,漏率变化0.1%,几乎可以忽略不计)。而且可以支持抗震抗摔,耐操性非常好,对比渗透型标准漏孔极其容易破碎损坏的致命缺陷不可同日而语。

睿米也是全球第一家实现通道型工艺支持全量程、全压力、全气体标准漏孔的厂家。睿米®掌握核心技术,助力中国高端智造,我们一直在行动!

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1.高真空或超高真空系统零冲击 2.自然衰减接近0,保证昂贵气体不被浪费,而且漏率恒定 3.极低衰减|漏率稳定|多年免补气|免维护 4.适合大漏率、高真空/超高真空、四级杆质谱等场景,特别是需要使用昂贵气体、保证气体纯度的场景(如Xe,Kr等同位素气体) 5.支持He,H₂,D₂,HD,N₂,O₂,Ar,Kr,Xe,Ne,CO₂,CO,CH₄,C₂H₆,…,等所有气体,或混合气(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1,客户指定比例或提供的气体)


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