氦质谱检漏仪用什么品牌漏孔校准好?
时间:
2023-11-21 09:07
氦气标准漏孔一个重要作用是用于氦质谱检漏仪或者检漏系统的校准,可以把检漏仪当作一把测量尺,而标准漏孔就是一把标准尺。测量尺春夏秋冬由于热胀冷缩测量的读数是不一样的,这就需要标准尺去校正。同样检漏仪也是如此,需要标准漏孔也校正。同时根据测量精度不同,需要不同精度的标准漏孔校正,其他气体检漏仪如卤素、冷媒检漏仪遵循同样原理
如氦质谱检漏仪,有两种检测方式:真空法,与吸枪法。睿米®标准漏孔也有两种,真空法下的标准漏孔,连接到检漏仪入口;另一种就是吸枪漏孔,提供吸枪接口。
对于普遍用吸枪或嗅探模式的卤素、冷媒检漏仪,的校准方式是提供对应气体类型的吸枪漏孔。但因为吸枪漏孔(出口为大气)一般的精度为-6mbarL/s,现在公司生产的漏孔,可以达到-12mbarL/s,可以提供出口为真空的漏孔-7mbarL/s,把吸枪对准漏放入真空环境,可以用来校准检漏仪。
现在很多检漏仪配置了内置标准漏孔,一般为10-7mbarL/s量级;自检通过(也就是利用内置漏孔做校准通过),这意味着在10-7mbarL/s的漏率附近,测出来的结果是比较准确的。
一般来说,检漏仪在自检通过后,并不能氦质谱检漏仪在其他漏率区间一定是准确的。如睿米®内置漏孔为-7mbarL/s量级,可能在-9mbarL/s量级不准确(事实上,我们发现有检漏仪自检通过,但存在其他量级不准确甚至相差1个数量级;更有甚者,可以人为调试机器在一个数量级准确,在其他数量级不准确的情况)。
所以对于产品测试来说,如果要严格的产品准确性,最准确的方式是用接近产品合格漏率点的睿米®标准漏孔进行校准。这才是正确的方法。
对检漏系统来说,标准漏孔的精度及稳定性很重要。如检漏仪连接到测试系统,其测漏结果是Leak(系统)+Leak(产品);我们这时候要用标准漏产品去模拟合格漏率时检漏仪测试结果;在测试正式产品时,如果漏率>标准样品测试漏率,则产品不合格,反之则产品合格。
上述的分析是对任何气体检漏设备适用的,不分厂家,不分气体种类,以及不分检测方式。
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