标准漏孔漏率/压力与衰减计算


1mbar.L/sec=0.1Pa.m³/sec=1/1.013atm.cc/sec=0.987std.cc/sec(标准体积)=59.23scc/min

1mbar.L/sec1cc/sec, 直观的说, 1mbar.L/sec1秒钟泄漏1cc标准体积气体

某气体分子量=m, 泄漏率为X mbar.L/s,换算成克/年见如下公式:X mbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m *(1/1.013)  (/)

压力:一般分为表压(相对大气压的压差)和绝压(相对真空的压差)绝压:1个大气压+表压。

漏孔漏率:

1x10-5mbar.L/s105(1.16)泄漏1cc    1x10-6mbar.L/s106(11.6)泄漏1cc

1x10-7mbar.L/s107(116)泄漏1cc     1x10-8mbar.L/s108(3.17)泄漏1cc

1x10-9mbar.L/s109(31.7)泄漏1cc    1x10-10mbar.L/s1010(317)泄漏1cc

正压漏率与真空漏率:正压漏率是指泄漏到大气的漏率,真空漏率是泄漏到真空的漏率。漏孔漏率包含分子流与粘滞流,其中分子流与压力差成正比,粘滞流与压力平方差成正比。一般来说,对于同一个漏孔,内部压力>10Bar,正压漏率≈真空漏率。

睿米®标准漏孔在E-9mbar.L/s支持压力最高2Mpa,可实现≥E-9mbar.L/s真空/正压校准漏率通用。

漏孔压力衰减:单位时间内压力衰减=Δt*R/(V*P) 其中R: 漏率,V:气室体积,P: 充气压力

漏孔压力与漏率衰减计算:10-1~10-6mbar.L/sec的漏孔, 漏率与压力平方成近似正比,压力衰减,漏率也会衰减。计算时假定一段时间Δt漏率不变,例如1160cc的气室,充气压力106bar,起始漏率=2.80E-5mbar.L/s。我们取1天为Δt,以计算1天衰减后的压力和漏率(同样Δt可以去1h, 1min, 1s,乃至更小,但计算量线性增加)再以该计算的漏率计算第2天衰减后的压力和漏率,以此类推,可以计算1年或某个时间的压力衰减及漏率

计算举例:

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RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀标准漏孔

1.高真空或超高真空系统零冲击 2.自然衰减接近0,保证昂贵气体不被浪费,而且漏率恒定 3.极低衰减|漏率稳定|多年免补气|免维护 4.适合大漏率、高真空/超高真空、四级杆质谱等场景,特别是需要使用昂贵气体、保证气体纯度的场景(如Xe,Kr等同位素气体) 5.支持He,H₂,D₂,HD,N₂,O₂,Ar,Kr,Xe,Ne,CO₂,CO,CH₄,C₂H₆,…,等所有气体,或混合气(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1,客户指定比例或提供的气体)


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在高端制造中,需要使用标准漏孔的设备多种多样,包括但不限于气体泄漏检测系统、氦检设备、半导体和光伏生产设备、真空系统设备以及其他需要精确控制气体流量或检测气体泄漏的设备。标准漏孔以其高精度、高稳定性和高可靠性,在这些高端制造领域中发挥着重要作用。


标准漏孔在高端制造应用有哪些?

标准漏孔在高端制造中的应用主要体现在校准和检测气体泄漏检测系统、应用于氦检技术、半导体和光伏行业的气体泄漏检测以及其他高端制造领域。其高精度、高稳定性和高可靠性使得标准漏孔成为高端制造中不可或缺的重要工具。