如何用新工艺制造高精度漏孔


目前仅有极少数厂家能制作高精度标准漏孔(-11-12-13pa.m³/sec),但都采用渗透膜工艺(如石英,或金刚石等), 因为密封工艺存在自身泄漏(1x10-10atm.cc/sec)导致漏率稳定性差,同时温度变化对漏率的影响大(温度系数4.0%/℃),漏率不稳定。

睿米®采用自研RMI-MTC微通道毛细管技术以及RMI-Metal全金属密封工艺(<1x10-15atm.cc/sec),全球第一个 (也是目前唯一)支持微通道型超高精度标准漏孔(-11-12-13pa.m³/sec)。

睿米®通道型漏孔稳定性好(温度系数0.1%/℃,温度对漏率的影响可忽略不计)、精度高、耐受性好(抗震抗摔),对比渗透型标准漏孔极易破碎损坏、漏率稳定性差的缺陷,是质的飞跃和革命性创新。

睿米®通过其自研的微通道毛细管技术和全金属密封工艺,成功制作出了超高精度的标准漏孔,并在稳定性、精度和耐受性方面实现了显著的提升。这一创新不仅解决了传统渗透膜工艺存在的问题,而且为高精度氦检等领域提供了更加可靠和高效的解决方案。

值得注意的是,随着科学技术的不断进步,相信未来会有更多的厂家和技术涌现,为高精度标准漏孔的制作和应用带来更多可能性。同时,对于高精度标准漏孔的需求也将随着工业制造和科研领域的不断发展而增加,这也将推动相关技术的不断创新和完善。

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RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀标准漏孔

1.高真空或超高真空系统零冲击 2.自然衰减接近0,保证昂贵气体不被浪费,而且漏率恒定 3.极低衰减|漏率稳定|多年免补气|免维护 4.适合大漏率、高真空/超高真空、四级杆质谱等场景,特别是需要使用昂贵气体、保证气体纯度的场景(如Xe,Kr等同位素气体) 5.支持He,H₂,D₂,HD,N₂,O₂,Ar,Kr,Xe,Ne,CO₂,CO,CH₄,C₂H₆,…,等所有气体,或混合气(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1,客户指定比例或提供的气体)


航空航天领域为何依赖氦检保障安全?

航空航天领域依赖氦检来保障安全的原因在于其对密封性能的高要求以及氦检技术的独特优势。通过应用氦检技术,航空航天领域可以确保设备在极端环境下的安全性能和乘员的生命安全。


哪些高端制造领域依赖氦检技术?

氦检技术在航空航天、医疗器械、电子和半导体、制冷和空调系统、汽车行业、真空技术、能源工业以及科研领域等多个高端制造领域中都发挥着重要作用。


高端制造中哪些设备需用标准漏孔?

在高端制造中,需要使用标准漏孔的设备多种多样,包括但不限于气体泄漏检测系统、氦检设备、半导体和光伏生产设备、真空系统设备以及其他需要精确控制气体流量或检测气体泄漏的设备。标准漏孔以其高精度、高稳定性和高可靠性,在这些高端制造领域中发挥着重要作用。


标准漏孔在高端制造应用有哪些?

标准漏孔在高端制造中的应用主要体现在校准和检测气体泄漏检测系统、应用于氦检技术、半导体和光伏行业的气体泄漏检测以及其他高端制造领域。其高精度、高稳定性和高可靠性使得标准漏孔成为高端制造中不可或缺的重要工具。