如何用新工艺制造高精度漏孔


目前仅有极少数厂家能制作高精度标准漏孔(-11-12-13pa.m³/sec),但都采用渗透膜工艺(如石英,或金刚石等), 因为密封工艺存在自身泄漏(1x10-10atm.cc/sec)导致漏率稳定性差,同时温度变化对漏率的影响大(温度系数4.0%/℃),漏率不稳定。

睿米®采用自研RMI-MTC微通道毛细管技术以及RMI-Metal全金属密封工艺(<1x10-15atm.cc/sec),全球第一个 (也是目前唯一)支持微通道型超高精度标准漏孔(-11-12-13pa.m³/sec)。

睿米®通道型漏孔稳定性好(温度系数0.1%/℃,温度对漏率的影响可忽略不计)、精度高、耐受性好(抗震抗摔),对比渗透型标准漏孔极易破碎损坏、漏率稳定性差的缺陷,是质的飞跃和革命性创新。

睿米®通过其自研的微通道毛细管技术和全金属密封工艺,成功制作出了超高精度的标准漏孔,并在稳定性、精度和耐受性方面实现了显著的提升。这一创新不仅解决了传统渗透膜工艺存在的问题,而且为高精度氦检等领域提供了更加可靠和高效的解决方案。

值得注意的是,随着科学技术的不断进步,相信未来会有更多的厂家和技术涌现,为高精度标准漏孔的制作和应用带来更多可能性。同时,对于高精度标准漏孔的需求也将随着工业制造和科研领域的不断发展而增加,这也将推动相关技术的不断创新和完善。

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