睿米微通道标准漏孔性能指标一览表


   支持全压力范围(高达40MPa)和全漏率范围(从8mbar.l/s到E-12mbar.l/s),能够适应各种复杂的工作环境和测量需求。全气体支持,显示出其广泛的适用性。

   该标准漏孔在抗震和抗摔性能方面表现出色,这意味着即使在恶劣的工作条件下,它也能保持稳定的性能。其工作温度范围广泛(-20℃~65℃),温度系数仅为0.1%/℃,这远远优于传统工艺制作的标准漏孔,其稳定性几乎不受外界变化的影响。

   微通道标准漏孔的形态多样化,包括正压漏孔、真空漏孔、有源漏孔、开放式无源漏孔等多种类型,这使其能够满足不同应用场景的需求。

   微通道标准漏孔还具有精确的漏率定制能力,可以根据客户的压力和漏率要求制作合适的孔径和长度。这一特性使得它在精确测量和控制气体流量方面具有独特的优势。

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1.高真空或超高真空系统零冲击 2.自然衰减接近0,保证昂贵气体不被浪费,而且漏率恒定 3.极低衰减|漏率稳定|多年免补气|免维护 4.适合大漏率、高真空/超高真空、四级杆质谱等场景,特别是需要使用昂贵气体、保证气体纯度的场景(如Xe,Kr等同位素气体) 5.支持He,H₂,D₂,HD,N₂,O₂,Ar,Kr,Xe,Ne,CO₂,CO,CH₄,C₂H₆,…,等所有气体,或混合气(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1,客户指定比例或提供的气体)


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